Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
газ, газы
газ рабочий
Документи:
Маишев, Ю. П.
Исследование селективности травления различных материалов пучками быстрых нейтральных частиц [Текст] / Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, В. П. Кудря // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 415-418.
Метод оперативного измерения параметров рабочего газа в импульсной ионизационной камере [Текст] / В. А. Хрячков, И. В. Дунаева, М. В. Дунаев [et al.] // Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 6. – 86-95.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
