| |
Маишев, Ю. П.
Исследование селективности травления различных материалов пучками быстрых нейтральных частиц [Текст] / Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, В. П. Кудря
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 415-418.
Представлены результаты исследования скорости и селективности травления кремниевых подложек, а также пленок SiO_2, W, TiN, TiC, NbN при использовании в качестве рабочих газов химически активных соединений CF_4, C_3F_6, SF_6. |
