Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
відпалювання = відпал, отжиг
отжиг фотонный
Документи:
Беспалов, В. А.
Формирование высоколегированных p+-областей GaAs, AlGaAs с использованием метода импульсного фотонного отжига [Текст] / В. А. Беспалов // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 6. – 3-6.
Влияние режимов ионного легирования и фотонного отжига на параметры имплантированных слоев n-GaAs:Si [Текст] / А. Ю. Бончик, И. И. Ижнин, С. Г. Кияк, Г. В. Савицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 3. – 3-4.
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" [Текст] / Г. В. Савицкий, А. Ю. Бончик, И. И. Ижнин [et al.] // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 6. – 45-47.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
