Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

монокремний

Документи:

Киреев, В. Ю. Влияние аспектного отношения и площади вскрытия на параметры реактивного ионно-плазменного травления структур в монокремнии [Текст] / В. Ю. Киреев, В. Ю. Пашков, Р. Г. Хакимова // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 3. – 28-35.
Федорович, О. А. Особенности плазмохимического травления кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей [Текст] / О. А. Федорович, М. П. Кругленко, Б. П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 46-49.