|
| | |
Федорович, О. А.
Особенности плазмохимического травления кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей [Текст] / О. А. Федорович, М. П. Кругленко, Б. П. Полозов
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 46-49.
|
| |
|
