621.382(076)

П12

Павлов, С. М.     Технологія мікроелектронних засобів [Електронний ресурс] : збірник завдань / С. М. Павлов, О. В. Войцеховська ; ВНТУ. – Електрон. текст. дані. – Вінниця : ВНТУ, 2017.    В збірнику розглянуто основні процеси технології мікроелектронних засобів, зокрема процеси механічної обробки та підготовки напівпровідникових пластин, а також такі методи отримання структур, як епітаксіальне нарощування,фотолітографія, дифузія та ін.

УДК 621.382(076)