Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
621.382(076)
П12          Павлов, С. М.
    Технологія мікроелектронних засобів [Електронний ресурс] : збірник завдань / С. М. Павлов, О. В. Войцеховська ; ВНТУ. – Електрон. текст. дані. – Вінниця : ВНТУ, 2017.

   В збірнику розглянуто основні процеси технології мікроелектронних засобів, зокрема процеси механічної обробки та підготовки напівпровідникових пластин, а також такі методи отримання структур, як епітаксіальне нарощування,фотолітографія, дифузія та ін.

  УДК 621.382(076)


    Переглянути зміст            



Примірники
Місце збереження Кількість В наявностi
304- електрон. ч/з та ч/з диплом 1 1


Теми документа


Статистика використання: Видач: 0 Завантажень: 82





Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'