Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
Д
дишинг-эффект
Документи:
Гольдштейн, Р. В.
Особенности кинетики процесса СМР периодических структур при нелинейной зависимости скорости полирования от давления [Текст] / Р. В. Гольдштейн, Т. М. Махвиладзе, М. Е. Сарычев // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 289-297.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
