| |
Гольдштейн, Р. В.
Особенности кинетики процесса СМР периодических структур при нелинейной зависимости скорости полирования от давления [Текст] / Р. В. Гольдштейн, Т. М. Махвиладзе, М. Е. Сарычев
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 289-297.
Развита модель и проведено теоретическое исследование кинетики процесса СМР пластин, содержащих периодические структуры металл-диэлектрик, с использованием методов контактной механики и нелинейных зависимостей для скорости полирования от давления. |
