Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
поверхность
поверхность атомно-чистая
Документи:
Яфаров, Р. К.
Релаксационная модификация морфологии атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100) после СВЧ плазменной обработки [Текст] / Р. К. Яфаров // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 273-279.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
