Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Яфаров, Р. К.
    Релаксационная модификация морфологии атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100) после СВЧ плазменной обработки [Текст] / Р. К. Яфаров
    // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 273-279.

   Исследованы закономерности релаксационной модификации наноморфологии атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100) различных типов проводимости, полученной с использованием низкоэнергетичной СВЧ плазмы низкого давления.


УДК 537.331.33

            


Є складовою частиною документа Микроэлектроника / РАН. - Москва: РАН, 1972-



Теми документа






 
Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система 'УФД/Бібліотека'