| |
Яфаров, Р. К.
Релаксационная модификация морфологии атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100) после СВЧ плазменной обработки [Текст] / Р. К. Яфаров
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 273-279.
Исследованы закономерности релаксационной модификации наноморфологии атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100) различных типов проводимости, полученной с использованием низкоэнергетичной СВЧ плазмы низкого давления. |
