Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
оксид
оксид гафния
Документи:
Алябьев, А. Ю.
Практические аспекты создания перспективных МДП структур с применением технологии атомно-слоевого осаждения [Текст] / А. Ю. Алябьев, А. С. Коротков // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 243-251.
Исследование характеристик и особенностей изготовления элементов энергонезависимой памяти FRAM, полученных с использованием процессов атомно-слоевого осаждения [Текст] / О. М. Орлов, А. М. Маркеев, А. В. Зенкевич, А. Г. Черникова // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 280-288.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'