Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
установка
установка травления
Документи:
Маишев, Ю. П.
Установка травления и нанесения тонкопленочных структур пучком быстрых нейтральных частиц [Текст] / Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, Ю. П. Терентьев // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 5. – С. 346-354.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'