| |
Маишев, Ю. П.
Установка травления и нанесения тонкопленочных структур пучком быстрых нейтральных частиц [Текст] / Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, Ю. П. Терентьев
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 5. – С. 346-354.
Разработана установка травления и нанесения тонкопленочных структур, оснащенная оригинальным источником "Нейтрал-Л", формирующим ленточный пучок быстрых нейтральных частиц, полученный при использовании различных рабочих газов |
