Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
металлизация медная
Документи:
- Белов, А. Н. Влияние состояния поверхности затравочного слоя меди на однородность электрохимического заполнения медью канавок с субмикронными размерами [Текст] / А. Н. Белов, В. Г. Плаксин, В. И. Шевяков // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 1. – С. 82-85.
- Формирование межэлементарной металлизации GaAs монолитных интегральных схем на основе меди [Текст] / С. В. Ишуткин, В. А. Кагадей, Е. В. Ерофеев, Е. В. Анищенко // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 4. – С. 282-289.
- Конструктивно-технологические особенности изготовления СВЧ GaAs монолитной интегральной схемы малошумящего усилителя с медной металлизацией лицевой стороны [Текст] / С. В. Ишуткин, В. А. Кагадей, Е. В. Ерофеев [и др.] // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 6. – С. 428-436.
|