| |
Белов, А. Н.
Влияние состояния поверхности затравочного слоя меди на однородность электрохимического заполнения медью канавок с субмикронными размерами [Текст] / А. Н. Белов, В. Г. Плаксин, В. И. Шевяков
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 1. – С. 82-85.
Приведены результаты исследования влияния состояния поверхности затравочного слоя меди на однородность электрохимического заполнения медью канавок с субмикронными размерами. |
