Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук Відібрані Формуляр Опис документа
Сайт бібліотеки Сайт ВНТУ
          Белов, А. Н.
    Влияние состояния поверхности затравочного слоя меди на однородность электрохимического заполнения медью канавок с субмикронными размерами [Текст] / А. Н. Белов, В. Г. Плаксин, В. И. Шевяков
    // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 1. – С. 82-85.

   Приведены результаты исследования влияния состояния поверхности затравочного слоя меди на однородность электрохимического заполнения медью канавок с субмикронными размерами.

  УДК 621.382(075.8)


            

Є складовою частиною документа Известия высших учебных заведений. Электроника [Текст] : научно-технический журнал. – 2016. – Т. 21, № 1.



Теми документа
Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'