Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
технология
технология глубокого ионного травления
Документи:
Анизотропное травление канавок в кремнии с высоким аспектным отношением и апертурой 30-50 нм. в двухстадийном циклическом плазмохимическом процессе [Текст] / С. Н. Аверкин, В. Ф. Лукичев, Н. А. Орликовский [и др.] // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 2. – С. 98-108.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
