| |
Анизотропное травление канавок в кремнии с высоким аспектным отношением и апертурой 30-50 нм. в двухстадийном циклическом плазмохимическом процессе [Текст] / С. Н. Аверкин, В. Ф. Лукичев, Н. А. Орликовский [и др.]
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 2. – С. 98-108.
Предпринята попытка использовать циклический плазмохимический процесс с чередованием стадий травления и пассивации для формирования тренчей в кремнии шириной в несколько десятков нанометров. |
