Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
процес, процесс
процесс осаждения пленок
Документи:
Исследование влияния структуры плазмохимического нитрида кремния на маскирующие свойства [Текст] / В. И. Гармаш, В. И. Егоркин, В. Е. Земляков [и др.] // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2014. – № 5. – С. 33-38.
Наливайко, О. Ю.
Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста [Текст] / О. Ю. Наливайко, А. С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2012. – № 2. – С. 37-41.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
