Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
осаждение
осаждение газофазное
Документи:
Васильев, В. Ю.
Низкотемпературное импульсное газофазное осаждение тонких слоев металлического рутения для микро- и макроэлектроники. Часть 5. Взаимосвязь закономерностей роста, структуры и свойств слоев рутения [Текст] / В. Ю. Васильев // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 6. – С. 441-452.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'