Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
скорость травления
Документи:
- Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок [Текст] / А. Э. Иванчиков, А. М. Кисель, А. Б. Медведева, В. И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2008. – № 1. – С. 46-50.
- Маишев, Ю. П. Исследование селективности травления различных материалов пучками быстрых нейтральных частиц [Текст] / Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, В. П. Кудря // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 415-418.
- Федорович, О. А. Особенности плазмохимического травления кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей [Текст] / О. А. Федорович, М. П. Кругленко, Б. П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 46-49.
|