| |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок [Текст] / А. Э. Иванчиков, А. М. Кисель, А. Б. Медведева, В. И. Плебанович
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2008. – № 1. – С. 46-50.
Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. |
