Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
Р
реактор плазмы
Документи:
Сичинский, Э. В.
Особенности глубокого травления кремния через диэлектрическую маску в реакторе трансформаторно-связанной плазмы [Текст] / Э. В. Сичинский // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 1. – 93-94.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'