Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
осадження = осаджування, осаждение
осадження газофазове, осаждение газофазное
Документи:
Васильев, В. Ю.
Низкотемпературное импульсное газофазное осаждение тонких слоев металлического рутения для микро- и макроэлектроники. Часть 5. Взаимосвязь закономерностей роста, структуры и свойств слоев рутения [Текст] / В. Ю. Васильев // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 6. – С. 441-452.
Механічні і трибологічні властивості нанокомпозитних покриттів на основі TiN та SiCN, отриманих з використанням метилтрихлорсилану [Текст] / В. І. Іващенко, О. К. Порада, Л. А. Іващенко [et al.] // Порошковая металлургия. – 2008. – № 1/2. – 125-133.
Тверді плазмохімічні покриття на основі карбонітриду кремнію [Текст] / Л. А. Іващенко, В. І. Іващенко, О. К. Порада [et al.] // Порошковая металлургия. – 2007. – № 11/12. – 35-42.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
