Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
осаждение пленок
Документи:
- Баринов, С. М. Кинетика роста и плазменной деструкции полимерных пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане [Текст] / С. М. Баринов, А. М. Ефремов // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 2. – С. 98-104.
- Гаврилов, С. А. Механизм катодного осаждения пленок CdS из водных растворов [Текст] / С. А. Гаврилов, Д. А. Кравченко // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 4. – 37-43.
- Наливайко, Ю. О. Получение тонких пленок Si_3N_4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм [Текст] / Ю. О. Наливайко, А. С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2012. – № 6. – С. 34-39.
- Сазонов, М. И. Плазмотрон с межэлектродными вставками для осаждения алмазоподобных и алмазных пленок [Текст] / М. И. Сазонов, Д. Л. Цыганов // Приборы и техника эксперимента. – 2005. – № 2. – 140-143.
|