Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
поверхность
поверхность Si
Документи:
Яфаров, Р. К.
Модификация электронных свойств поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ-плазменной микрообработке [Текст] / Р. К. Яфаров, С. А. Климова // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 4. – С. 305-314.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'