Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук Відібрані Формуляр Опис документа
Сайт бібліотеки Сайт ВНТУ
          Яфаров, Р. К.
    Модификация электронных свойств поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ-плазменной микрообработке [Текст] / Р. К. Яфаров, С. А. Климова
    // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 4. – С. 305-314.

   Исследованы закономерности влияния на электронные свойства поверхности кристаллов кремния (100) СВЧ-плазменной микрообработки в условиях слабой адсорбции. Показана возможность активного формирования электронных свойств поверхности полупроводниковых кристаллов.

  УДК 533.924,544.72


            

Є складовою частиною документа Микроэлектроника [Текст] / РАН. – 2014. – Т. 43, № 4.



Теми документа
Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'