Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
Н
нанопрофилирование кремния
Документи:
Белов, А. Н.
Локальное травление кремния с использованием твердой маски на основе пористого оксида алюминия [Текст] / А. Н. Белов // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 1. – 11-14.
Нанопрофилирование кремния с использованием твердой маски оксида алюминия и комбинированного "сухого" травления [Текст] / А. Н. Белов, Ю. А. Демидов, М. Г. Путря, А. А. Голишников // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 2. – С. 39-42.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'