| |
Нанопрофилирование кремния с использованием твердой маски оксида алюминия и комбинированного "сухого" травления [Текст] / А. Н. Белов, Ю. А. Демидов, М. Г. Путря, А. А. Голишников
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 2. – С. 39-42.
Рассмотрены технологические особености нанопрофилирования кремния, защищенного твердой маской на основе пористого оксида алюминия. |
