621.382(075)

П12

Павлов, С. М.     Основи мікроелектроніки [Електронний ресурс] : навчальний посібник / С. М. Павлов ; ВНТУ. – Електрон. текстові дані. – Вінниця : ВНТУ, 2011.    В навчальному посібнику викладені основні принципи і напрямки розвитку мікроелектроніки; проведена класифікація виробів мікроелектроніки і їх загальна характеристика; описані фізико-хімічні основи і технологія виготовлення напівпровідникових і гібридних ІМС.

УДК 621.382(075)