| П12 |
Павлов, С. М.
Основи мікроелектроніки [Електронний ресурс] : навчальний посібник / С. М. Павлов ; ВНТУ. – Електрон. текстові дані. – Вінниця : ВНТУ, 2011.
В навчальному посібнику викладені основні принципи і напрямки розвитку мікроелектроніки; проведена класифікація виробів мікроелектроніки і їх загальна характеристика; описані фізико-хімічні основи і технологія виготовлення напівпровідникових і гібридних ІМС. |
