| |
Ефремов, А. М.
Кинетика нейтральных частиц в плазме HCI и HBr в условиях низких давлений и высоких концентраций электронов [Текст] / А. М. Ефремов
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 298-304.
Проведено модельное исследование кинетики процессов образования и гибели нейтрльных частиц в плазме HCI и HBr в условиях, реализуемых в типовых промышленных реакторах травления. |
