| |
Мордвинцев, В. М.
Исследование процесса образования окисной пленки нанометровой толщины на поверхности нитрида титана методом вторично-ионной масс-спетрометрии [Текст] / В. М. Мордвинцев, В. В. Наумов, С. Г. Симакин
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 258-272.
Методом вторично-ионной масс-спектрометрии исследован процесс окисления пленок нитрида титана, полученных реактивным магнетронным распылением, в условиях "горения" плазмы в смеси аргона и кислорода в камере вакуумной установки магнетронного распыления. |
