Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

газ галогеновмісний

Документи:

Логвиненко, В. Дослідження захисних властивостей позитивних електронних резистів при травленні в плазмі галогеновмісних газів [Текст] / В. Логвиненко, Ю. Воловик // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2005) : Матеріали І Міжнародної конференції; м. Вінниця, 2-5 червня 2005 року / ВНТУ. – Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2005. – С. 183-184.