Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
Р
реактор технологический
Документи:
Фадеев, А. В.
Исследование латерального распределения частиц BF_3 плазмы с помощью двухракурсной эмиссионной томографии [Текст] / А. В. Фадеев, К. В. Руденко // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 435-440.
Оптимизация томографического алгоритма реконструкции плазменных неоднородностей в технологических реакторах микроэлектроники [Текст] / А. В. Фадеев, К. К. Руденко, В. Ф. Лукичев, А. А. Орликовский // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 2. – С. 119-129.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
