Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
процес плазмохімічний
Документи:
- Кравченко, С. Ю. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2011. – № 1. – С. 127-135.
- Кравченко, Ю. Частотний сенсор спектрального контролю плазмохімічного процесу [Текст] / Ю. Кравченко, О. Даниленко, С. Кравченко // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2005) : Матеріали І Міжнародної конференції; м. Вінниця, 2-5 червня 2005 року / ВНТУ. – Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2005. – С. 90.
- Кравченко, Ю. С. Визначення вольт-амперної характеристики частотного оптичного перетворювача для двоканального контролю плазмохімічних процесів [Текст] / Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, С. Ю. Кравченко // Вісник Вінницького політехнічного інституту. – 2009. – № 2. – С. 108-111.
- Кравченко, Ю. С. Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами [Текст] / Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, С. Ю. Кравченко // Вісник ВПІ. – 2007. – № 6. – С. 119-125.
- Кравченко, Ю. С. Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології [Текст] / Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Хмельницького національного університету. – 2014. – № 6. – С. 256-261.
- Вольт-амперна характеристика частотного оптичного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів з активним індуктивним елементом [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Вінницького політехнічного інституту. – 2010. – № 1. – С. 92-97.
- Мікроелектронний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Вінницького політехнічного інституту. – 2009. – № 5. – С. 134-140.
- Оптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Вінницького політехнічного інституту. – 2009. – № 6. – С. 94-100.
|
