Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

микролитография

Документи:

Моро, У. Микролитография [Текст] = Microdevices: Physics and Fabrication Technologies : Принципы, методы, материалы: В 2 ч. Ч.1 / У. Моро ; Пер. с англ. под ред. Р.Х.Тимерова; Предисл. К.А.Валиева. – М. : Мир, 1990. – 605с : ил. – Библиогр.: с.595-602. – ISBN 5-03-001716-Х, 5-03-001372-5.
Моро, У. Микролитография [Текст] = Microdevices: Physics and Fabrication Technologies : Принципы, методы, матералы: В 2 ч. Ч.2 / У. Моро ; Пер. с англ. под ред. Р.Х.Тимерова; Предисл. К.А.Ваалиева. – М. : Мир, 1990. – 632с : ил. – ISBN , 5-03-001372-5.