Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
Р
реактор планарно-индукционный
Документи:
Структура и состав слоев нитрида кремния, полученных в планарно-индукционном реакторе [Текст] / Ф. Н. Дульцев, В. В. Васильев, И. О. Парм, А. П. Соловьев // Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2004. – № 9. – 34-38.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
