Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

плазменное травление

Документи:

Дикарев, Ю. И. Каталитическое травление кварца во фторсодержащей газоразрядной плазме [Текст] / Ю. И. Дикарев, С. М. Цветков, И. С. Суровцев // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 5. – 23-30.
Сичинский, Э. В. Особенности глубокого травления кремния через диэлектрическую маску в реакторе трансформаторно-связанной плазмы [Текст] / Э. В. Сичинский // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 1. – 93-94.