Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
микромеханика
Підтеми:
Документи:
- Измерение угла отклонения микрозеркала с помощью фоточувствительной матрицы [Текст] / И. М. Бритков, С. С. Евстафьев, Д. О. Злобин [и др.] // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2014. – № 4. – С. 79-81.
- Иващенко, Е. И. Исследование процесса электрохимического анизотропного травления кремния [Текст] / Е. И. Иващенко // Электроника. – 2000. – № 1. – 59-64.
- Парфенов, Н. М. Анализ технологических особенностей при изготовлении структур КНИ МЭМС-преобразователей [Текст] / Н. М. Парфенов // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 235-239.
- Путря, М. Г. Особенности плазменного профилирования кремния для микромеханики [Текст] / М. Г. Путря // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 3. – 93-94.
- Тимошенков, С. П. Применение МЭМС-сенсоров в системах навигации и ориентации подвижных объектов [Текст] / С. П. Тимошенков, А. П. Кульчицкий // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2012. – № 6. – С. 51-56.
- Хорошун, Л. П. Основы микромеханики повреждаемости материала. Длительная повреждаемость [Текст] / Л. П. Хорошун // Прикладная механика. – 2007. – 43, № 2. – С. 108-121.
- Введение в микромеханику [Текст] / М.Онами, С.Ивасимидзу, К.Гэнка и др.; Под ред. М.Онами; Перевод с яп. П.Д.Баева; Под ред. Г.Я.Гуна. – М. : Металлургия, 1987. – 280с : ил. – Библиогр.: с.261-280.
|
