Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
нанолитография
Підтеми:
Документи:
- Агеев, О. А. Исследование параметров взаимодействия фокусированных ионных пучков с подложкой [Текст] / О. А. Агеев, А. С. Коломийцев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 3. – С. 20-25.
- Агеев, О. А. Формирование наноразмерных структур на кремниевой подложке методом фокусированных ионных пучков [Текст] / О. А. Агеев, А. С. Коломийцев, Б. Г. Коноплев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 1. – С. 29-34.
- Безус, Е. А. Формирование интерференционных картин затухающих электромагнитных волн для наноразмерной литографии с помощью волноводных дифракционных решеток [Текст] / Е. А. Безус, Л. Л. Досколович, Н. Л. Казанский // Квантовая электроника. – 2011. – Т. 41, № 8. – С. 759-764.
- Битюрин, Н. М. Формирование наноструктур на поверхности и в объеме твердых тел с помощью лазерного излучения [Текст] / Н. М. Битюрин // Квантовая электроника. – 2010. – Т. 40, № 11. – С. 955-965.
- Одноелектронный транзистор из высоколегированного кремния на изоляторе [Текст] / Д. Е. Преснов, С. В. Амитонов, В. С. Власенко, В. А. Крупенин // Радиотехника. XXI век. – 2014. – № 1. – С. 35-42.
|
