| Х68 |
Ховерко, Ю. М.
Технологія елементів зінтегрованих схем мікро- та наносистемної техніки [Електронний ресурс] : навчальний посібник / Ю. М. Ховерко, І. П. Островський, А. О. Дружинін ; НУ "Львівська політехніка". – Електрон. текст. дані. – Львів : Вид-во Львівської політехніки, 2018.
Проаналізовано сучасні методи отримання зінтегрованих схем. Розглянуто фізичні процеси і властивості основних технологічних процесів під час створення зінтегрованих схем. Детально проаналізовано фізику формування мікроструктур із наперед заданими властивостями p-n переходів, отриманих дифузією або іонним впровадженням домішки в матеріал. |
