621.382(075.8)
П12	Павлов, С. М.     Технологія мікроелектронних засобів [Електронний ресурс] : навчальний посібник / С. М. Павлов, О. В. Войцеховська ; ВНТУ. – Електрон. текст. дані. – Вінниця : ВНТУ, 2017.    В навчальному посібнику розглянуто основні процеси технології мікроелектронних засобів.

УДК 621.382(075.8)