621.382(075)
К 78	Кравченко, Ю. С.     Хімічні процеси в мікроелектронній технології [Електронний ресурс] : навчальний посібник / Ю. С. Кравченко, Є. О. Смольков ; МОН України, ВНТУ. – Електрон. текстові дані. – 2008.

УДК 621.382(075)