535(07)
М 54	Методичні вказівки з організації та проведення лаборатор. спектральних вимірювань параметрів нерівноважної плазми для студ. спец. "Мікроелектроніка і напівпровідникові прилади" та "Електронні прилади" [Електронний ресурс] / МОН України, ВНТУ; Уклад. Ю. С. Кравченко. – Електрон. текстові дані. – Вінниця : ВНТУ, 2008.

УДК 535.65(07)+533.9(07)