Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Сажнев, С. В.
Термоконвективный регулятор малых рсходов газа для технологического оборудования микроэлектроники
[Текст] / С. В. Сажнев
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 2. – 91-92.
Краткие сообщения
УДК 681.121
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/П/прилад, прибор/прибор микроэлектронный
Ключові слова/В/витратомір, расходомер
Ключові слова/Т/термоконвективный регулятор
Ключові слова/Р/регулятор расхода/регулятор расхода газа
Ключові слова/В/витрата, расход, витрати, расходы = издержки/витрата газу, расход газа
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'