| |
Система автоматизации криогенного спектрального эллипсометра [Текст] / А. А. Галуза, А. Д. Кудленко, К. А. Слатин [et al.]
// Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 4. – 51-53.
Описана система автоматизации эллипсометрических измерений на базе криогенного нуль-эллипсометра |
