Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Формирование силицидных фаз на монокристаллическом кремнии при термоионном осаждении титана
[Текст] / Е. И. Богданов, А. В. Рясный, Е. А. Максименко, С. Е. Богданов
// Металлофизика и новейшие технологии. – 2004. – 26, № 1. – 51-57.
УДК 669.295
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/К/коефіцієнт, коэффициент/коефіцієнт дифузії, коэффициент диффузии
Ключові слова/Т/титан
Ключові слова/Т/термоионное осаждение
Ключові слова/С/силициды титана
Ключові слова/А/аналіз, анализ/аналіз фазовий, анализ фазовый
1
Ключові слова/К/кремній, кремний/кремній кристалічний, кремний кристаллический
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'