|
Coskun, C. Простая технология изготовления теневых масок, используемых для изготовления микроструктур [Текст] / C. Coskun, H. Efeoglu // Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 3. – С. 135-137.
Описана новейшая технология изготовления теневых масок, используемых для нанесения контактов при различных электрических измерениях. |