| |
Стогний, А. И.
Метод оценки толщины ультратонких пленок [Текст] / А. И. Стогний, Н. Н. Новицкий, О. М. Стукалов
// Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 3. – 131-134.
Описан метод определения при помощи атомно-силового микроскопа толщины ультратонких (меньше 10 нм) пленок |
